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上海添時科學儀器有限公司

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全自動標準8寸勻膠顯影機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號:

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

更新時間:2025-07-06 20:24:14瀏覽次數(shù):7939次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
應用領域 化工 旋轉(zhuǎn)速度范圍 20-5000rpm
加速度范圍 20-20000rpm/s 轉(zhuǎn)速精度 ±1rpm
熱盤溫度范圍 50℃-200℃ 熱盤溫度均勻性 ±1%
冷盤溫度范圍 20°℃-25°℃ 冷盤溫度均勻性 ±0.2℃
光刻膠粘度 0-1000Cp(可選高粘度光膠機臺) 膠泵類型 氣動或電動膠泵
光刻膠或顯影液管路 ≤3路 設備尺寸 2140mm(W)x1780mm(D)x2200mm(H)
流量監(jiān)控 超聲式流量計 高精度熱盤溫度均勻性 50℃-120℃±0.4℃ 120℃-200℃±1.2℃
全自動標準8寸勻膠顯影機
適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝
最大設備配置:4套勻膠(顯影)、10套熱(冷)板單元
6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理
整機適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
根據(jù)客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風棒等模塊
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

勻膠顯影機

   顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現(xiàn)出來的同時,獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機是將曬制好的印版通過半自動和全自動的程序?qū)@影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設備。

產(chǎn)品介紹

適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝
最大設備配置:4套勻膠(顯影)、10套熱(冷)板單元
6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理
整機適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
根據(jù)客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風棒等模塊
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

產(chǎn)品參數(shù)

旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-5000rpm
加速度范圍:20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
熱盤溫度范圍:50℃-200℃
熱盤溫度均勻性:±1%
冷盤溫度范圍:20°℃-25°℃
冷盤溫度均勻性:±0.2℃
光刻膠粘度:0-1000Cp(可選高粘度光膠機臺)
膠泵類型:氣動或電動膠泵
光刻膠或顯影液管路:≤3路
流量監(jiān)控:超聲流量計
設備尺寸:2140mm(W)x1780mm(D)x2200mm(H)

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